高新技術產業在降能提效、促進經濟結構轉型方面具有極大優勢,是實現綠色發展的重要抓手,適度產業集聚能提升資源利用效率,降低環境影響,推動綠色發展。本文首先分析了高新技術產業集聚及其不同集聚模式對綠色經濟效率作用機制。其次以生產函數為出發點,構建高新技術產業集聚與綠色經濟效率間的動態面板計量模型,使用Super SBM-DEA模型和區位熵分別測算中國各省區的綠色經濟效率和高新技術產業集聚水平。最后,運用系統廣義矩方法(SGMM)識別高新技術產業集聚等解釋變量對綠色經濟效率的作用方向與影響程度、對綠色經濟效率分解項的影響效果,以及高新技術產業專業化集聚和多樣化集聚對綠色經濟效率的影響。結果顯示:(1)2005—2015年,只有北京、上海和廣東三省市綠色經濟效率大于1,處于效率前沿面,而其他地區較低。總體來看,中國東部、中部和西部各省區綠色經濟效率水平呈遞減趨勢,這一分布狀態也與高新技術產業集聚水平在區域上分布情形一致。(2)高新技術產業集聚對綠色經濟效率具有促進作用,主要通過對綠色規模效率和綠色純技術效率的正向影響實現。高新技術產業集聚對綠色經濟效率的作用呈現"U"型曲線關系,其主要通過對綠色純技術效率的影響來實現。(3)高新技術產業專業化集聚抑制了綠色經濟效率提高,而多樣化集聚對綠色經濟效率具有顯著促進作用。(4)環境規制和城鎮化能顯著促進綠色經濟效率,外商投資水平顯著促進綠色純技術效率,但抑制了綠色經濟效率和綠色規模效率。政策啟示在于:(1)以高新技術產業作為區域產業轉型升級,實現高質量綠色發展的突破口。(2)有效利用作為高新技術產業集聚區的高新技術園區在推動區域綠色經濟效率中的作用,積極引導多元高新技術企業集聚于高新技術產業園區,實現高新技術產業的多樣化集聚。(3)避免集聚區內高新技術企業同質化惡性競爭現象,優化高新技術產業集聚區的產業結構,將集聚區打造成高新技術企業的集聚高地。